Marso, Michel ;
Institut für Halbleitertechnik, Sommerfeldstraße, D-5100 Aachen, Germany Zwinge, G.; Institut für Halbleitertechnik, Sommerfeldstraße, D-5100 Aachen, Germany
Beneking, H.; Institut für Halbleitertechnik, Sommerfeldstraße, D-5100 Aachen, Germany
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