Selectively Grown Vertical Si p-MOS Transistor with Reduced Overlap Capacitances

Klaes, D.; Moers, J.; Tönnesmann, A.; Grimm, M.; Wickenhäuser, S.; Vescan, L.; MARSO, Michel; Kordoš, P.; Lüth, H.

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Communication publiée dans un ouvrage (Colloques, congrès, conférences scientifiques et actes)

Selectively Grown Vertical Si p-MOS Transistor with Reduced Overlap Capacitances

Klaes, D.; Moers, J.; Tönnesmann, A. et al.

1998 • In Proceedings of the 28th European Solid State Devices Research Conference, Bordeaux, France

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https://hdl.handle.net/10993/20676

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Disciplines :

Ingénierie électrique & électronique

Identifiants :

UNILU:UL-CONFERENCE-2009-421

Auteur, co-auteur :

Klaes, D.; Institute of Thin Film and Ion Technology (ISI), Research Centre Jülich, D-52425 Jülich, Germany

Moers, J.; Institute of Thin Film and Ion Technology (ISI), Research Centre Jülich, D-52425 Jülich, Germany

Tönnesmann, A.; Institute of Thin Film and Ion Technology (ISI), Research Centre Jülich, D-52425 Jülich, Germany

Grimm, M.; Institute of Thin Film and Ion Technology (ISI), Research Centre Jülich, D-52425 Jülich, Germany

Wickenhäuser, S.; Institute of Thin Film and Ion Technology (ISI), Research Centre Jülich, D-52425 Jülich, Germany

Vescan, L.; Institute of Thin Film and Ion Technology (ISI), Research Centre Jülich, D-52425 Jülich, Germany

MARSO, Michel ; Institute of Thin Film and Ion Technology (ISI), Research Centre Jülich, D-52425 Jülich, Germany

Kordoš, P.; Institute of Thin Film and Ion Technology (ISI), Research Centre Jülich, D-52425 Jülich, Germany

Lüth, H.; Institute of Thin Film and Ion Technology (ISI), Research Centre Jülich, D-52425 Jülich, Germany

Co-auteurs externes :

yes

Langue du document :

Anglais

Titre :

Selectively Grown Vertical Si p-MOS Transistor with Reduced Overlap Capacitances

Date de publication/diffusion :

1998

Nom de la manifestation :

28th European Solid State Devices Research Conference, Bordeaux, France

Date de la manifestation :

1998

Titre de l'ouvrage principal :

Proceedings of the 28th European Solid State Devices Research Conference, Bordeaux, France

Pagination :

568-571

URL complémentaire :

10.1016/S0040-6090(98)01248-6

Disponible sur ORBilu :

depuis le 30 mars 2015

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