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Article (Scientific journals)
Phosphorus Redistribution During the Formation of Buried CoSi2 Layers by Ion Beam Synthesis,
Schüppen, A.; Jebasinski, R.; Mantl, S. et al.
1994 • In Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions with Materials and Atoms, 84, p. 143-147
Peer Reviewed verified by ORBi
Permalink
https://hdl.handle.net/10993/20749
DOI
10.1016/0168-583X(94)95743-6
 

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Disciplines :
Electrical & electronics engineering
Identifiers :
UNILU:UL-ARTICLE-2009-361
Author, co-author :
Schüppen, A.;  Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany
Jebasinski, R.;  Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany
Mantl, S.;  Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany
MARSO, Michel ;  Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany
Lüth, H.;  Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany
Breuer, U.;  Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany
Holzbrecher, H.;  Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany
External co-authors :
yes
Language :
English
Title :
Phosphorus Redistribution During the Formation of Buried CoSi2 Layers by Ion Beam Synthesis,
Publication date :
1994
Journal title :
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions with Materials and Atoms
ISSN :
0168-583X
eISSN :
1872-9584
Publisher :
Elsevier Science, Amsterdam, Netherlands
Volume :
84
Pages :
143-147
Peer reviewed :
Peer Reviewed verified by ORBi
Available on ORBilu :
since 05 April 2015

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