Schöning, M. J.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany
Sauke, M.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany
Steffen, A.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany
MARSO, Michel ;
Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany Kordoš, P.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany
Lüth, H.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany
Kauffmann, F.; Institut für Technologie der Elektrotechnik, Universität Karlsruhe, D-76187 Karlsruhe, Germany
Erbach, R.; Institut für Technologie der Elektrotechnik, Universität Karlsruhe, D-76187 Karlsruhe, Germany
Hoffmann, B. G.; Institut für Technologie der Elektrotechnik, Universität Karlsruhe, D-76187 Karlsruhe, Germany
