Vertical Silicon MOSFETs based on Selective Epitaxial Growth

Moers, J.; Tönnesmann, A.; Klaes, D.; Vescan, L.; v.d.Hart, A.; Fox, A.; Marso, Michel; Kordoš, P.; Lüth, H.

doi:10.1109/ASDAM.2000.889454

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Paper published in a book (Scientific congresses, symposiums and conference proceedings)

Vertical Silicon MOSFETs based on Selective Epitaxial Growth

Moers, J.; Tönnesmann, A.; Klaes, D. et al.

2000 • In Proc. 3rd International EuroConference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems

Permalink
https://hdl.handle.net/10993/20651

DOI
10.1109/ASDAM.2000.889454

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Disciplines :

Electrical & electronics engineering

Identifiers :

UNILU:UL-CONFERENCE-2009-431

Author, co-author :

Moers, J.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Tönnesmann, A.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Klaes, D.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Vescan, L.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

v.d.Hart, A.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Fox, A.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Marso, Michel ; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Kordoš, P.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Lüth, H.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

External co-authors :

yes

Language :

English

Title :

Vertical Silicon MOSFETs based on Selective Epitaxial Growth

Publication date :

2000

Event name :

3rd International EuroConference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems

Event date :

2000

Main work title :

Proc. 3rd International EuroConference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems

Pages :

Available on ORBilu :

since 28 March 2015

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