Vertical Silicon MOSFETs based on Selective Epitaxial Growth

Moers, J.; Tönnesmann, A.; Klaes, D.; Vescan, L.; v.d.Hart, A.; Fox, A.; MARSO, Michel; Kordoš, P.; Lüth, H.

doi:10.1109/ASDAM.2000.889454

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Communication publiée dans un ouvrage (Colloques, congrès, conférences scientifiques et actes)

Vertical Silicon MOSFETs based on Selective Epitaxial Growth

Moers, J.; Tönnesmann, A.; Klaes, D. et al.

2000 • In Proc. 3rd International EuroConference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems

Permalien
https://hdl.handle.net/10993/20651

DOI
10.1109/ASDAM.2000.889454

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Disciplines :

Ingénierie électrique & électronique

Identifiants :

UNILU:UL-CONFERENCE-2009-431

Auteur, co-auteur :

Moers, J.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Tönnesmann, A.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Klaes, D.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Vescan, L.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

v.d.Hart, A.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Fox, A.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

MARSO, Michel ; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Kordoš, P.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Lüth, H.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich, Germany

Co-auteurs externes :

yes

Langue du document :

Anglais

Titre :

Vertical Silicon MOSFETs based on Selective Epitaxial Growth

Date de publication/diffusion :

2000

Nom de la manifestation :

3rd International EuroConference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems

Date de la manifestation :

2000

Titre de l'ouvrage principal :

Proc. 3rd International EuroConference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems

Pagination :

Disponible sur ORBilu :

depuis le 28 mars 2015

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