Kordoš, P.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, D-52425 Jülich, Germany
Alam, A.; AIXTRON AG, D-52072 Aachen, Germany
Betko, J.
Chow, P. P.
Heuken, M.; AIXTRON AG, D-52072 Aachen, Germany
Javorka, P.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, D-52425 Jülich, Germany
Kočan, M.; Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, D-52425 Jülich, Germany
MARSO, Michel ;
University of Luxembourg > Faculty of Science, Technology and Communication (FSTC) > Engineering Research Unit Morvic, M.
van Hove, J. M.