Beneking, H.; Institut für Halbleitertechnik, RWTH Aachen, Germany
Vescan, L.; Institut für Halbleitertechnik, RWTH Aachen, Germany
Gruhle, A.; Institut für Halbleitertechnik, RWTH Aachen, Germany
Cloos, J. M.; Institut für Halbleitertechnik, RWTH Aachen, Germany
Marso, Michel ;
Institut für Halbleitertechnik, RWTH Aachen, Germany