REDINGER, Alex ; University of Luxembourg > Faculty of Science, Technology and Communication (FSTC) > Physics and Materials Science Research Unit
MOUSEL, Marina ; University of Luxembourg > Faculty of Science, Technology and Communication (FSTC) > Physics and Materials Science Research Unit
SIEBENTRITT, Susanne ; University of Luxembourg > Faculty of Science, Technology and Communication (FSTC) > Physics and Materials Science Research Unit
Langue du document :
Anglais
Titre (54) :
Method for manufacturing a semiconductor thin film
Date de publication (43-45) :
28 octobre 2013
Date de dépôt (22) :
octobre 2013
N° de brevet/publication (10-11) :
91986
Etat de la demande (13) :
B
N° de priorité (30) :
H01L21/02, H01L21/36
Classification internationale (IPC) (51) :
H01L21/02, H01L21/36
Classification européenne (ECLA) (52) :
H01L21/02, H01L21/36
Déposant (71) :
Université de Luxembourg, TDK Corporation, Robert Bosch GmbH
