Method for manufacturing a semiconductor thin film

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Brevet (Brevets)

REDINGER, Alex; MOUSEL, Marina; SIEBENTRITT, Susanne

2013

Permalien
https://hdl.handle.net/10993/11619

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2013_PMRU011 - EtchKest grant certificate.pdf

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Détails

Disciplines :

Physique

Inventeur :

REDINGER, Alex ; University of Luxembourg > Faculty of Science, Technology and Communication (FSTC) > Physics and Materials Science Research Unit

MOUSEL, Marina ; University of Luxembourg > Faculty of Science, Technology and Communication (FSTC) > Physics and Materials Science Research Unit

SIEBENTRITT, Susanne ; University of Luxembourg > Faculty of Science, Technology and Communication (FSTC) > Physics and Materials Science Research Unit

Langue du document :

Anglais

Titre (54) :

Method for manufacturing a semiconductor thin film

Date de publication (43-45) :

2013

Date de dépôt (22) :

28 octobre 2013

N° de brevet/publication (10-11) :

91987

Etat de la demande (13) :

N° de priorité (30) :

H01L21/02 - H01L21/36

Classification internationale (IPC) (51) :

H01L21/02 - H01L21/36

Classification européenne (ECLA) (52) :

H01L21/02 - H01L21/36

Déposant (71) :

Université de Luxembourg et TDK Corporation

Organisme de publication du brevet (19) :

Ministère de l'Economie et du Commerce Exterieur

Disponible sur ORBilu :

depuis le 21 novembre 2013

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